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本实用新型涉及一种用于抓取前开式统集盒FOUP的装置，其中所述FOUP具有伸出的抓取部，该装置包括：卡爪，其具有用于夹持抓取部的上卡爪和下卡爪；以及气缸，其被配置为致使上卡爪与下卡爪之间的相对运动以便将抓取部夹紧或松开。通过该装置，可以稳定...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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