下载半导体智能芯片生产设备的传送装置和传送系统的技术资料

文档序号:22250604

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本实用新型涉及智能芯片制造领域,公开了一种半导体智能芯片生产设备的传送装置,包括转盘以及使转盘间歇转动的第一驱动机构,转盘上绕转盘的旋转中心周向均匀的设有N个传输盒,N为正整数,传输盒内设有容纳芯片的腔室,该传输盒具有打开状态和关闭状态。本...
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