温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种高精度垂直移动聚焦平台,包括基台、垂直运动平台和竖直推杆,所述基台为一顶面开口的箱体,箱体内设置有分隔板将箱体分隔成升降室和压力室;所述分隔板底部设置有通孔连通升降室和压力室;所述升降室内密封有大活塞,压力室内密封有小活...该专利属于北京龙基高科生物科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京龙基高科生物科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种高精度垂直移动聚焦平台,包括基台、垂直运动平台和竖直推杆,所述基台为一顶面开口的箱体,箱体内设置有分隔板将箱体分隔成升降室和压力室;所述分隔板底部设置有通孔连通升降室和压力室;所述升降室内密封有大活塞,压力室内密封有小活...