下载一种高精度垂直移动聚焦平台的技术资料

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本实用新型公开了一种高精度垂直移动聚焦平台,包括基台、垂直运动平台和竖直推杆,所述基台为一顶面开口的箱体,箱体内设置有分隔板将箱体分隔成升降室和压力室;所述分隔板底部设置有通孔连通升降室和压力室;所述升降室内密封有大活塞,压力室内密封有小活...
该专利属于北京龙基高科生物科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京龙基高科生物科技有限公司授权不得商用。

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