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本发明提供具有特殊金属连接层的垂直腔面发射激光器及制备方法,垂直腔面发射激光器包括基底结构及金属连接层,基底结构包括至少一个氧化孔窗口,以通过所述氧化孔窗口出射光线;金属连接层位于基底结构上,金属连接层包括与氧化孔窗口对应设置的金属连接层窗...该专利属于常州纵慧芯光半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州纵慧芯光半导体科技有限公司授权不得商用。
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