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本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：S110、提供SOI硅片，所述SOI硅片包括硅衬底以及依次形成在所述硅衬底上的埋氧层和硅结构层；S120、形成二氧化硅墙结构；S130、形成二氧化硅薄膜以作为第一钝化层；S1...
该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。

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