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本实用新型公开了硅片制造领域内的一种多晶炉内引流工装，包括保温板，保温板上设置有热交换平台，热交换平台上设置有防护底板，防护底板上设置有防护侧板，防护侧板的底部开设溢流孔，保温板上位于溢流孔下方对应位置开设有导流孔，其特征在于，导流孔内设置...
该专利属于扬州荣德新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州荣德新能源科技有限公司授权不得商用。

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