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一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:22184491
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本公开揭示了一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置,包括抽气模块、充电模块和电位测量模块。本公开还揭示了一种粒子轰击下的表面电位自动测量方法。本公开能够研究空间装备在复杂多因素环境中受到空间电子、离子作用下的静电放电机理;通过记录样品表面电位...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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