下载预对位装置和检测设备的技术资料

文档序号:22178398

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本发明提供一种预对位装置和检测设备。该预对位装置包括固定结构和预对位结构,预对位结构与固定结构活动连接,预对位结构在预对位状态下位于承载待测基板的载台台面上,预对位结构包括分别在相互垂直的第一方向和第二方向上对待测基板进行位置限定的挡板和挡...
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