专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
赛普拉斯半导体公司
>
在预先图案化的底部电极和阻挡氧化层上制造铁电随机存取存储器的方法技术
>技术资料下载
下载在预先图案化的底部电极和阻挡氧化层上制造铁电随机存取存储器的方法的技术资料
文档序号:22175047
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
描述了F‑RAM单元的结构和制造方法。F‑RAM单元包括形成在预先图案化的阻挡结构之上和形成有预先图案化的阻挡结构的铁电电容器,预先图案化的阻挡结构具有平坦化/化学和/或机械抛光的顶表面。预先图案化的阻挡结构包括具有在阻氧层上的底部电极层的...
该专利属于赛普拉斯半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛普拉斯半导体公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。