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具备：存储部(37)，在使超声波探触部移动到n行线之前，存储超声波探触部(1)扫描试样表面的第n‑1行线时的、从发送超声波至接收到反射波的时间和基准时间的第n‑1行线的偏差；以及处理部(35)，根据该第n‑1行线的偏差，决定所述超声波探触部...
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