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本发明属于精密工程技术领域，具体为一种基于剪切干涉的近场显微探测光束定心方法。方法步骤如下：在原子力显微系统中，从样品下方将激光束聚焦在探针针尖上，入射光束和样品夹角40°~50°；从斜上方安装凸透镜，将散射的发散光束变为近似平行光；然后放...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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