下载大直径高效N型单晶硅的制备工艺的技术资料

文档序号:22156631

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本发明公开了能够降低对设备要求,同时提高生产效率的大直径高效N型单晶硅的制备工艺。该大直径高效N型单晶硅的制备工艺,包括步骤:S1、配料;S2、装料和熔化;S3、引晶;S4、缩颈;通过晶棒提升旋转装置提拉籽晶,形成晶体;S5、放肩;将晶体控...
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