下载一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺的技术资料

文档序号:22156380

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于高温难熔金属靶材制备领域,具体涉及一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺,该工艺包括如下步骤:原料混合;胶套装粉作业;冷等静压作业,升压至一定压力后,保压一段时间,然后泄压,最后将压制坯从胶套取出;真空烧结或氢气保护烧结;热等静压...
该专利属于洛阳高新四丰电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳高新四丰电子材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。