下载膜片型光纤法珀腔传感器制备装置、传感器制备方法以及膜片型光纤法珀腔传感器的技术资料

文档序号:22133607

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本发明涉及一种膜片型光纤法珀腔传感器制备装置、传感器制备方法以及膜片型光纤法珀腔传感器,所述系统包括腐蚀部件、可升降夹具、控制部件、压力舱、加压部件、压力测量部件和腔长测量部件;所述腐蚀部件内盛装腐蚀液,用于减薄膜片型光纤法珀腔传感器预制体...
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