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一种氟气、氟化氢及氮气混合标准样品配制系统，包括氮气阀门、氟气阀门、氟化氢阀门，氮气阀门、氟气阀门、氟化氢阀门分别通过管路连接氮气流量计、氟气流量计、氟化氢流量计，氮气流量计、氟气流量计、氟化氢流量计均连接混合标准气出口阀门。...
该专利属于中核四0四有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中核四0四有限公司授权不得商用。

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