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本实用新型公开了一种多功能混合气体配气装置，包括装置主体，装置主体上设置有原料气气瓶，原料气气瓶的顶部设置有一级质量流量控制阀，一级质量流量控制阀的顶部设置有汇流排，混气室的一侧设置有混合泵，混气室的底部设置有真空泵，混气室的另一侧设置有混...
该专利属于大连八方流体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连八方流体技术有限公司授权不得商用。

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