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本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件(30)，其热连接于高温冷却台，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；低温低温板部，其热连接于低温冷却台且被放射屏蔽件(30)包围，该低温低温板部具备沿轴向排...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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