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基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置及方法制造方法及图纸
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下载基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置及方法的技术资料
文档序号:22099605
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本发明公开了一种基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置以及方法。该装置包括光源、分光镜、色散透镜组、横向位移台、纵向位移台以及光谱信号处理模块。待测试的压电陶瓷叠堆设置于横向位移台和纵向位移台之间,从光源发出的光经过分光镜后到达色散透镜组...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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