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本实用新型公开了一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其包括至少两个吸附柱；吸附柱的出口三通阀的一个端口与氢气压缩机的进气口连通，氢气压缩机的出气口与氢气储罐的进气口连通。优点：通过每个吸附柱之间进行吸附和脱附两种模式交替切换，利用氢气压缩机提供...
该专利属于内蒙古神舟硅业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古神舟硅业有限责任公司授权不得商用。

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