下载一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及制备方法的技术资料

文档序号:22074378

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种基于BN(Al)薄膜的布拉格反射镜及方法,布拉格反射镜包括衬底,衬底表面设有S个薄膜周期结构,S为整数且S≥1;薄膜周期结构包括BN低折射率层和设置在BN低折射率层上的BAlN高折射率层;制备布拉格反射镜的方法:(1)将干净...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。