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一种光学声敏元件以及包括其的光学声传感器，该光学声敏元件包括：拾音结构和光学检测结构。拾音结构包括支座、拾音膜片和支撑梁，拾音膜片通过至少一根支撑梁固定于支座上，由拾音膜片与支座形成一非封闭腔体，拾音膜片面积大于所有支撑梁面积之和，拾音膜片...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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