下载一种三轴平面度检测系统及其检测方法的技术资料

文档序号:22072604

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本发明涉及一种三轴平面度检测系统及其检测方法,包括基础组件、三轴滑动机构、工件定位平台、以及激光测量组件四部分。三轴滑动机构包括十字滑台和竖直滑台,由十字滑台带动被测工件在水平范围内移动,并与激光测量仪配合工作,采用工件移动而激光测量仪静止...
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