下载一种硅粉清理装置的技术资料

文档序号:22071117

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本实用新型公开了一种硅粉清理装置,用于清理多晶硅还原炉的底盘上电极窝内的硅粉,包括:隔离罩、吹气组件和吸取组件,隔离罩罩于电极窝的上方,且分别与吹气组件和吸取组件连通,吹气组件和吸取组件连接,吹气组件用于将隔离罩内的硅粉吹起,吸取组件用于吸...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。

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