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微粒数检测器制造技术
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文档序号:22061407
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提供一种微粒数检测器(10),其具备陶瓷制的通气管(12),在通气管(12)中具备:利用气体中放电而产生电荷的电荷产生元件(20)、电场产生电极(42)、捕集电极(44)、电场产生电极(52)、以及除去电极(54)。构成电荷产生元件(20)...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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