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高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台制造技术
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文档序号:22058768
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本发明提供了一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台,其能解决现有空间平动精密定位平台运动行程小、有效台面小、结构工艺性较差且平台的耦合误差与寄生转角较大导致平台定位精度不高的问题。其包括基座、动平台、刚性框架、第一柔性支链、第二柔性...
该专利属于江南大学所有,仅供学习研究参考,未经过江南大学授权不得商用。
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