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一种钯金钯复合纳米薄膜光纤氢气传感器制造技术
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文档序号:22053652
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本实用新型公开了一种钯金钯复合纳米薄膜光纤氢气传感器,由放大自发辐射光源,偏振片,偏振控制器,测试气室,流量计,氢气和氮气源,传感器,光谱仪组成。预处理啁啾倾斜光纤光栅后在表面分别液相沉积生长Pd薄膜、Au薄膜、Pd薄膜,将制备好的钯金钯复...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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