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本发明公开了一种表面检测装置及方法。该表面检测装置包括：控制模块、放置被测物体的工作台和至少一个探测头；探测头用于发射入射光束并控制入射光束在被测物体的表面进行第一方向的扫描，再接收入射光束经由被测物体的表面散射形成的散射光束；工作台用于当...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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