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本发明公开了一种硅微谐振式压力传感器闭环检测系统，包括模拟电路模块和数字电路模块，所述模拟电路模块由前置放大模块、信号处理模块和激励模块组成，所述数字电路模块由模数转换模块、全数字锁相环模块和数模转换模块组成，所述前置放大模块由检测电路和放...
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