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本实用新型涉及氮化硅合成装置技术领域，具体涉及一种用于合成高α相氮化硅粉体的反应器。所述反应器包括氮化硅筒体、外壳、底板和顶盖；所述氮化硅筒体外表面设有保温层；所述底板和氮化硅筒体之间依次设有底部氮化硅压环和底部多孔氮化硅板，所述底板与进气...
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