下载一种硅基光电子芯片与单模光纤的耦合装置的技术资料

文档序号:22031466

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本实用新型涉及光通信设备技术领域,具体涉及一种硅基光电子芯片与单模光纤的耦合装置,包括硅衬底、二氧化硅层、硅波导以及低折射率波导,单模光纤的端面处理成凸曲面形,单模光纤与二氧化硅层之间存在间隙,单模光纤与硅波导之间设置有至少一段低折射率波导...
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