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本发明涉及一种用于离子注入系统的加热夹盘，其选择性将工件夹持至具有加热器的承板，以选择性加热夹持表面。加热夹盘的基板与承板之间的间隙包含传热介质。冷却流体源耦合至基板中的冷却通道。控制器以第一模式和第二模式操作加热夹盘。在第一模式下，控制器...
该专利属于艾克塞利斯科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克塞利斯科技公司授权不得商用。

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