下载一种工作在可见光波段的高带宽CMOS APD光电器件的技术资料

文档序号:22024155

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本发明请求保护一种工作在可见光波段的高带宽CMOS APD光电器件,包括P衬底,其还包括堆积于所述P衬底上的两个深N阱,所述深N阱上堆积有两个P阱层,在每个P阱层上分别堆积有一个N+层和P+层,将重掺杂的N+层与轻掺杂的P阱层形成PN结,即...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。

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