温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种PM刮拭治具，包括：刮擦板，其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口；支撑机构，其与所述刮擦板的下边缘连接。本发明通过采用该缺口来对口金边缘的光阻进行擦除，具有擦除效果好，避免光阻残留的有益效果。...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。