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一种高速移载排列机构,包括第一直线驱动机构,第一载料治具,设置于所述第一升降机构顶端;第二直线驱动机构,与所述第一直线驱动机构平行设置,第二载料治具,设置于所述第二升降机构顶端;当所述第一载料治具在第一直线驱动机构的驱动下从第一直线驱动机构...该专利属于深圳市标谱半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市标谱半导体科技有限公司授权不得商用。
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一种高速移载排列机构,包括第一直线驱动机构,第一载料治具,设置于所述第一升降机构顶端;第二直线驱动机构,与所述第一直线驱动机构平行设置,第二载料治具,设置于所述第二升降机构顶端;当所述第一载料治具在第一直线驱动机构的驱动下从第一直线驱动机构...