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一种具有自对准栅电极结构的场效应管制造技术
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文档序号:21981319
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本实用新型公开了一种具有自对准栅电极结构的场效应管,包括衬底,衬底上设有沟道材料层,沟道材料层中部为栅电极区域,栅电极区域两侧为源极区域和漏极区域,源极区域和漏极区域上均沉积有第一金属层,第一金属层上沉积有第二金属层,第二金属层上沉积有第三...
该专利属于湖南工程学院所有,仅供学习研究参考,未经过湖南工程学院授权不得商用。
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