下载用于射束能量测量的方法和装置的技术资料

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公开了用于射束能量测量的方法和装置。用于测量从辐射束源输出的辐射束能量的装置包括:第一射束能量传感器,其位于沿着辐射束轴线距辐射束源第一距离处;第二射束能量传感器,其位于沿着所述辐射束轴线距所述辐射束源第二距离处;以及位于所述第一传感器与第...
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