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本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种Micro‑OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法。其中，光学检测设备包括检测系统、控制系统和显示系统；检测系统包括过滤器，过滤器与光学检测暗室连接，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD；分光...
该专利属于厦门特仪科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门特仪科技有限公司授权不得商用。

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