温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及用于确定两个物体的相对位置的光学位置测量装置,物体能沿至少两个测量方向相对于彼此运动。该装置包括两个扫描单元,扫描单元与两个物体中的一个连接并且各自具有至少一个光源、一个或多个栅格和一个检测器装置。此外,标尺与另一个物体连接,该标...该专利属于约翰内斯.海德汉博士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过约翰内斯.海德汉博士有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及用于确定两个物体的相对位置的光学位置测量装置,物体能沿至少两个测量方向相对于彼此运动。该装置包括两个扫描单元,扫描单元与两个物体中的一个连接并且各自具有至少一个光源、一个或多个栅格和一个检测器装置。此外,标尺与另一个物体连接,该标...