下载一种电场辅助原子力显微镜纳米刻蚀方法的技术资料

文档序号:21964678

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本发明公开一种通过施加电流实现原子力显微镜(AFM)纳米刻蚀的方法。通过向AFM针尖和基底施加一定电流并控制电流的大小,由于针尖和样品之间存在较大的接触电阻,因此产生一定的焦耳热,在基底上形成刻蚀。该方法可用于加工纳米沟痕、裁剪纳米材料等操...
该专利属于刘增磊所有,仅供学习研究参考,未经过刘增磊授权不得商用。

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