下载一种烧结炉及钽电容的烧结方法的技术资料

文档序号:21962331

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本申请实施例提供了一种烧结炉及钽电容的烧结方法,该烧结炉包括进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组。进气管路与气体循环泵的输入端连通;气体循环泵的输出端与气体加热器的输入端连通;气体加热器的输出端与烧结腔的进气口连通;烧...
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