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本发明的超低温制冷机(10)具备：冷头(14)；阀单元(16)，其具备能够将冷头(14)内的工作气体压力周期性地切换成第1高压与比第1高压更低的第2高压的回转阀(58)及使回转阀(58)旋转的阀马达(60)，并且回转阀(58)具有将第2高压...
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