下载氧化铈研磨粒的技术资料

文档序号:21958559

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本发明在一个实施方式中提供一种可提升研磨速度的氧化铈研磨粒。本发明在一个实施方式中涉及一种氧化铈研磨粒,其用于研磨剂,并且氧化铈研磨粒表面的{100}面的露出量为30%以上。...
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