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本发明公开了一种痕量气体及其同位素实时在线检测装置，其特征在于：包括光路测量部分、气路部分、控制及信号处理部分，其中光路测量部分包括激光器、分束器、第一准直光纤头、第二准直光纤头、光气体吸收池、第一光电探测器、第二光电探测器；气路部分包括进...
该专利属于深圳华领气体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳华领气体技术有限公司授权不得商用。

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