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一种基于超表面和铌酸锂混合结构的片上太赫兹传感增强器件制造技术
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下载一种基于超表面和铌酸锂混合结构的片上太赫兹传感增强器件的技术资料
文档序号:21949098
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本发明公开了一种基于超表面和铌酸锂混合结构的片上太赫兹传感增强器件。其目的在于对微量生物化学物质进行高灵敏度检测。通过调节金属天线的长度和介质层二氧化硅的厚度,实现在更宽的频率范围内对不同药品的探测。采用的方案是:将天线阵列超表面镀在沉积了...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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