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为了解决永磁场带来的靶材离化后离子的运动轨迹就是固定的，是无法调节的问题，本实用新型提出一种能够改变磁场大小的阴极源，其包括：靶材1、线圈2、可变电源3，其特征在于：靶材1的表面设有线圈2，线圈2的两个自由端分别接入可变电源3的正极和负极。...
该专利属于苏州星蓝纳米技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州星蓝纳米技术有限公司授权不得商用。

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