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本实用新型提供了一种槽间承接盘的清洗装置及清洗机，所述槽间承接盘的清洗装置包括液体清洗模块和气态流体干燥模块，所述液体清洗模块用于冲洗所述槽间承接盘，所述气态流体干燥模块用于干燥冲洗后的所述槽间承接盘。避免了晶圆在从酸洗槽转移到水槽的过程中...
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