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本发明公开一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备，管道清洁装置包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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