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本发明公开了一种双频压电式微机械超声换能器及其制备方法。目前还没有基于单个振动膜片的双频压电式微机械超声换能器。本发明由上至下依次包括金属上电极层、压电薄膜层、金属下电极层、硅器件层、埋氧层、硅衬底层。埋氧层和硅衬底层内开有微腔。压电薄膜层...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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