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本实用新型涉及电子芯片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种电子芯片光刻辅助装置，其方便对圆形的电子芯片进行定位，提高使用可靠性；并且方便对光刻板进行安装和调节，提高工作效率；包括工作台、光刻机、光刻板、箱体和定位台，箱体安装在工作台的顶端...
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