下载一种异型多晶炉坩埚护板的技术资料

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本实用新型公开了硅片制造领域内的一种异型多晶炉坩埚护板,护板由四块矩形的侧板依次连接围成,每块侧板的一侧边上设有固定孔,每两块侧板通过固定件与固定孔的配合形成连接;每块侧板的板面位于固定孔的位置上开设有与固定孔交叉的减震孔,侧板的顶部加工有...
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